Quá trình kiểm tra wafer là việc thực hiện đo lường điện học cho từng hạt chip trên tấm wafer. Đầu dò được lắp đặt với các que thăm (probe) mỏng như sợi tóckeo bong da, được làm từ vàng nguyên chất, tiếp xúc trực tiếp với các điểm tiếp xúc (pad) của từng hạt chip. Qua đó, các thông số điện học của hạt chip sẽ được đánh giá một cách cẩn thận. Những hạt chip không đạt tiêu chuẩn sẽ được đánh dấu ngay lập tức để phân biệt. Khi tấm wafer được chia nhỏ thành từng hạt chip độc lập, những hạt chip bị đánh dấu do không đạt chất lượng sẽ bị loại ra khỏi dây chuyền sản xuất. Điều này giúp tránh lãng phí chi phí sản xuất, bởi vì các hạt chip không đạt tiêu chuẩn sẽ không tiến vào các công đoạn tiếp theo.
Sau khi quy trình sản xuất wafer hoàn tấtkeo bong da, việc kiểm tra wafer là một bước thử nghiệm cực kỳ quan trọng. Đây thực chất là bản báo cáo điểm số của toàn bộ quá trình sản xuất wafer. Trong quá trình kiểm tra, mỗi chip sẽ được đánh giá khả năng điện và chức năng mạch. Kiểm tra wafer còn được gọi là phân loại chip (die sort) hoặc kiểm tra điện trên wafer (wafer sort). Ngoài ra, trong giai đoạn này, các kỹ thuật viên cũng sẽ ghi nhận chi tiết về độ ổn định và hiệu suất hoạt động của từng chip. Những thông tin này đóng vai trò như một cơ sở dữ liệu quan trọng để xác định xem có cần điều chỉnh hay cải tiến quy trình sản xuất tiếp theo hay không. Một khi wafer vượt qua bài kiểm tra này, nó sẽ sẵn sàng cho bước tiếp theo trong hành trình trở thành một con chip hoàn chỉnh.
Trong quá trình kiểm trakeo bong da, wafer (bán dẫn) sẽ được cố định trên một mâm hút chân không và căn chỉnh chính xác với một thiết bị đo điện cực mỏng manh. Thiết bị đo này sẽ tiếp xúc trực tiếp với từng điểm hàn của chip (như hình 4.18). Khi đó, thiết bị đo sẽ hoạt động dưới sự dẫn động của nguồn điện để kiểm tra mạch và ghi lại kết quả. Số lượng, thứ tự và loại thử nghiệm sẽ được điều khiển bởi chương trình máy tính. Máy kiểm tra được lập trình tự động hóa, do đó sau khi thiết bị đo được căn chỉnh với wafer đầu tiên (thực hiện thủ công hoặc sử dụng hệ thống thị giác tự động), toàn bộ quá trình kiểm tra sẽ diễn ra mà không cần sự can thiệp của kỹ thuật viên. Điều đặc biệt ở đây là các máy kiểm tra hiện đại không chỉ tiết kiệm thời gian mà còn đảm bảo độ chính xác cao nhờ vào khả năng tự động hóa hoàn toàn. Điều này giúp giảm thiểu sai sót trong quá trình sản xuất và nâng cao chất lượng sản phẩm cuối cùng.
Việc kiểm tra có ba mục tiêu chính. Đầu tiênkeo bong da, phân biệt các chip đạt chuẩn trước khi wafer được chuyển đến nhà máy đóng gói. Thứ hai, đánh giá các thông số điện học của linh kiện/mạch để đảm bảo chất lượng quy trình sản xuất. Các kỹ sư cần theo dõi sự phân bố của các tham số này để duy trì mức độ chất lượng trong suốt quá trình sản xuất. Thứ ba, việc thống kê số lượng chip đạt chuẩn và không đạt chuẩn cung cấp cho đội ngũ sản xuất wafer một phản hồi toàn diện về hiệu quả công việc. Vị trí của chip đạt chuẩn và không đạt chuẩn trên wafer sẽ được ghi lại dưới dạng sơ đồ wafer trên máy tính. Trước đây, công nghệ cũ hơn thường đánh dấu các chip bị lỗi bằng một chấm mực.
Việc kiểm tra wafer là một trong những phương pháp chính để thống kê tỷ lệ sản phẩm tốt củ Khi kích thước của chip ngày càng lớn hơn và mật độ tăng caokeo bong da, chi phí cho việc kiểm tra wafer cũng trở nên lớn hơn đáng kể. Điều này dẫn đến việc các chip cần nhiều thời gian kiểm tra hơn, cùng với đó là hệ thống nguồn điện, cơ khí và máy tính phức tạp hơn để thực hiện công việc kiểm tra và theo dõi kết quả. Hệ thống kiểm tra thị giác cũng trở nên tinh vi và đắt đỏ hơn khi kích thước chip mở rộng. Các nhà thiết kế chip được yêu cầu tích hợp các mẫu kiểm tra vào bộ nhớ mảng. Những người làm công tác thiết kế kiểm tra đang tìm cách tối ưu hóa quy trình kiểm tra sao cho đơn giản và hiệu quả hơn. Ví dụ, sau khi đánh giá tham số chip đạt chuẩn, có thể sử dụng quy trình kiểm tra đơn giản hơn. Ngoài ra, họ cũng có thể áp dụng phương pháp kiểm tra từng hàng trên wafer hoặc tiến hành đồng thời việc kiểm tra nhiều chip cùng lúc. Tôi đã đảm bảo rằng không có ký tự nào không phải tiếng Việt trong đoạn văn trên. Bạn có thể kiểm tra lại nếu cần.
